Auf zehn Nanometer genau
Positioniertisch für die Mikromontage
dc.contributor.author
Zesch, Wolfgang
dc.contributor.author
Codourey, Alain
dc.contributor.author
Büchi, Roland
dc.contributor.author
Siegwart, Roland
dc.date.accessioned
2017-06-11T06:13:12Z
dc.date.available
2017-06-11T06:13:12Z
dc.date.issued
1995
dc.identifier.issn
1023-0823
dc.identifier.uri
http://hdl.handle.net/20.500.11850/81704
dc.language.iso
de
dc.publisher
Hallwag
dc.title
Auf zehn Nanometer genau
dc.type
Journal Article
ethz.title.subtitle
Positioniertisch für die Mikromontage
ethz.journal.title
Technische Rundschau Transfer
ethz.journal.volume
87
ethz.journal.issue
29/30
ethz.pages.start
20
ethz.pages.end
22
ethz.identifier.nebis
000924995
ethz.publication.place
Bern
ethz.publication.status
published
ethz.leitzahl
ETH Zürich::00002 - ETH Zürich::00012 - Lehre und Forschung::00007 - Departemente::02130 - Dep. Maschinenbau und Verfahrenstechnik / Dep. of Mechanical and Process Eng.::02620 - Inst. f. Robotik u. Intelligente Systeme / Inst. Robotics and Intelligent Systems::03737 - Siegwart, Roland Y. / Siegwart, Roland Y.
ethz.leitzahl.certified
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ethz.date.deposited
2017-06-11T06:14:39Z
ethz.source
ECIT
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yes
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Metadata only
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2017-07-13T15:45:48Z
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2021-02-14T11:29:49Z
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Publication type
-
Journal Article [130998]