Entwicklung von piezoelektrischen Positionierelementen und deren Validierung mit einem Transmissions-Elektronenmikroskop
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2000Type
- Doctoral Thesis
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https://doi.org/10.3929/ethz-a-003867558Publication status
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Fortschritt-Berichte VDI. Reihe 1, Konstruktionstechnik/MaschinenelementeVolume
Publisher
VDI VerlagSubject
STELLANTRIEBE + STELLEINRICHTUNGEN (AUTOMATISCHE REGELUNG); PIEZOELEKTRIZITÄT (ELEKTROSTATIK); TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPES, TEM + TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPY; PIEZOELECTRICITY (ELECTROSTATICS); DURCHSTRAHLUNGSELEKTRONENMIKROSKOPE + DURCHSTRAHLUNGSELEKTRONENMIKROSKOPIE; SERVO-DRIVES + ACTUATORS (AUTOMATIC CONTROL)Organisational unit
03452 - Meier, Markus03737 - Siegwart, Roland Y. / Siegwart, Roland Y.
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