CMOS humidity sensors
Closed access
Datum
1993Typ
- Doctoral Thesis
ETH Bibliographie
yes
Altmetrics
Persistenter Link
https://doi.org/10.3929/ethz-a-000928575Publikationsstatus
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Verlag
ETH ZürichThema
KOMPLEMENTÄRE METALLOXID-HALBLEITERSCHALTUNGEN, CMOS (MIKROELEKTRONIK); SENSOREN + DETEKTOREN (ANALYTISCHE CHEMIE); LUFTFEUCHTIGKEIT (METEOROLOGIE); COMPLEMENTARY-METAL-OXIDE-SEMICONDUCTOR CIRCUITS, CMOS (MICROELECTRONICS); SENSORS + DETECTORS (ANALYTICAL CHEMISTRY); HUMIDITY (METEOROLOGY)Anmerkungen
Diss. Techn. Wiss. ETH Zürich, Nr. 10320, 1993. Ref.: H. Baltes ; Korref.: D. D. Denton.ETH Bibliographie
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