Dislocation density and structure in Si1-xGex buffer layers deposited by LEPECVD

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Autor(in)

Datum

2003

Typ

Conference Paper

ETH Bibliographie

yes

Altmetrics

Publikationsstatus

published

Herausgeber(in)

Buchtitel

Microscopy of Semiconducting Materials 2003

Zeitschrift / Serie

Institute of Physics Conference Series

Band

180

Seiten / Artikelnummer

247 - 250

Verlag

IOP Publishing

Konferenz

Conference on Microscopy of Semiconducting Materials 2003, Cambridge, United Kingdom, March 31 - April 3, 2003

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