Lateral straggling of Ion implantation distributions in 4H-SiC investigated by SIMS
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Autor(in)
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Datum
2019Typ
- Conference Paper
ETH Bibliographie
yes
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Publikationsstatus
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Herausgeber(in)
Buchtitel
Silicon Carbide and Related Materials 2018Zeitschrift / Serie
Materials Science ForumBand
Seiten / Artikelnummer
Verlag
Trans Tech PublicationsKonferenz
Thema
Ion implantation; Lateral straggling; SIMSOrganisationseinheit
09480 - Grossner, Ulrike / Grossner, Ulrike
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