Experimental fractal-like instability bands in a resonant silicon-silicon contact pull-in vibration detector
Publikationsstatus
publishedExterne Links
Buchtitel
Proceedings of the 2018 IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)Seiten / Artikelnummer
Verlag
IEEEKonferenz
Organisationseinheit
03609 - Hierold, Christofer / Hierold, Christofer